由于等離子體所具有的高能量，材料表面的化學物質或有機污染物能夠被分解，所有可能干擾附著的雜質被有效去除，從而使材料表面達到后續涂裝工藝所要求的較好條件。

　　使用等離子技術按照工藝的要求進行表面清洗，對表面無機械損傷，無需化學溶劑*的綠色環保工藝，脫模劑、添加劑、增塑劑或者其它由碳氫化合物構成的表面污染都能夠被去除。通過等離子進行的表面清洗能夠除去緊密附著在塑料表面的細小的灰塵顆粒。通過一系列的反應和相互作用，等離子清洗設備能夠將這些灰塵顆粒從物體表面*除去。這樣可以大大降低高品質要求的涂裝作業的廢品率，比如汽車工業里的涂裝作業。通過在微觀層面上的一系列物理化學作用，等離子的表面清洗作用能夠獲得精細的高品質表面。

　　1）對材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

　　2）激活鍵能，交聯作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

　　3）形成新的官能團--化學作用

　　如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

　　由于等離子清洗設備的功能和用途如此之多，因此成為光學、光電子、光通訊、電子、微電子、半導體、激光、芯片、珠寶、顯示、航天航空、生命科學、醫學、牙科、生物、物理、化學等各方面清洗的*。